Abschlussarbeit

Fakultät 04
Simulation des Temperaturverhaltens eines kapazitiven MEMS-Mikrofons
Kategorie:
Abschlussarbeit
Themengruppe:
Abschlussarbeit Bachelor / Master
BetreuerIn:
Jahr:
2015

Zur Mitarbeit im Forschungsprojekt TwinMikro wird ab sofort ein Bachelorand bzw. Masterand m/w gesucht. Im Projekt twinMikro werden Methoden zur hochqualitativen Schallaufnahme mit MEMS-Mikrofonen entwickelt. MEMS-Mikrofone bestehen aus zwei, in einem Gehäuse integrierten Chips, einem elektro-akustische Wandler (Sensor-Chip) und einem ASIC-Chip. Der Sensor-Chip ist ein kapazitiver, elektroakustischer Wandler mit einer beweglichen Membran und einer festen Gegenelektrode.

 

MEMS Mikrofone besitzen neben ihren hervorragenden elektro-akustischen Eigenschaften eine hohe thermische Wiederstandsfähigkeit. Dies spielt vor allem bei der Bestückung eine entscheidende Rolle. Um das Temeraturverhalten solcher MEMS-Mikrofone besser charakterisieren zu können soll mit dem Simulationsprogramm COMSOL Multiphisics eine Mikrofonmodel erstellt und charakterisiert werden. Ziele der Abschlußarbeit sind:

 

• Aufbau eines Sensor-Chip Models (Membran und perforierte Gegenelektrode)

• Aufbau eines MEMS-Mikrofonmodels (Keramiksubstrat, Sensor-Chip, ASIC-Chip, Lotkugeln, Polymerfolie, Metalldeckel)

• Charakterisierung des Temperaturverhaltens einzelner Teile

 

Bewerbungen (kurzes Anschreiben und Lebenslauf) bitte an einen der oben aufgeführten Ansprechpartner.